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羅茨泵機(jī)組原理與應(yīng)用

來(lái)源：成都新德南光機(jī)械設(shè)備有限公司 | 發(fā)布時(shí)間：2025-07-13 |

羅茨泵機(jī)組工作原理

羅茨泵機(jī)組是一種容積式真空泵，由兩個(gè)相互嚙合的“8”字形轉(zhuǎn)子（羅茨轉(zhuǎn)子）在泵腔內(nèi)同步反向旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)氣體的吸入和排出。其核心特點(diǎn)是無(wú)內(nèi)部壓縮，依靠轉(zhuǎn)子的高速旋轉(zhuǎn)將氣體從進(jìn)氣端推向排氣端，再通過(guò)前級(jí)泵（如旋片泵或螺桿泵）將氣體排出系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于對(duì)真空度和潔凈度要求較高的行業(yè)。

羅茨泵本身不能單獨(dú)工作，需與前級(jí)泵組成機(jī)組，形成兩級(jí)或多級(jí)抽氣系統(tǒng)。其抽氣過(guò)程分為三個(gè)階段：
吸氣階段：轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，進(jìn)氣口側(cè)容積增大，吸入氣體。
輸送階段：轉(zhuǎn)子繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，將氣體封閉在泵腔與殼體之間，向排氣端輸送。
排氣階段：氣體被推至排氣口，由前級(jí)泵抽走。
羅茨泵的極限真空可達(dá)10?2~10?3 Pa，具有抽速大（可達(dá)數(shù)萬(wàn)m3/h）、無(wú)油污染、耐腐蝕等優(yōu)勢(shì)，適用于潔凈真空環(huán)境。

羅茨泵機(jī)組應(yīng)用場(chǎng)景

半導(dǎo)體與光伏制造：用于晶圓鍍膜、刻蝕、CVD（化學(xué)氣相沉積）等工藝，提供高潔凈真空環(huán)境，避免油污染。
真空冶金：在熔煉、燒結(jié)、熱處理等過(guò)程中維持穩(wěn)定真空，提高材料純度。
化工與醫(yī)藥：用于大型真空蒸餾、凍干機(jī)、原料藥生產(chǎn)，確保無(wú)油污染。
科研與實(shí)驗(yàn)室：應(yīng)用于粒子加速器、真空鍍膜、空間模擬艙等，提供穩(wěn)定抽氣能力。
食品包裝：用于真空包裝機(jī)，提高食品保鮮效果，延長(zhǎng)保質(zhì)期。