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求一份真空退火爐工安全技術操作流程

來源：成都新德南光機械設備有限公司 | 發布時間：2014-03-01 |

1.先送水源,檢查水源是否暢通,水壓р﹥0.lMPa,否則不準開爐。　
2.合上總電源,再合上操縱電源。
3.開機械泵,分別打開1號、2號閘門。
4.合上真空計總電源,接通熱電偶電源,調整好加熱電流(電流調為128A)丈量真空度。
電流為22mA時真空度為10-1Torr(13.3Pa)；電流為84mA時真空度為10-2Torr(1.33Pa)；電流為98mA時真空度為10-3Torr(0.133Pa)；電流為10OmA時真空度為10-4Torr(0.0133Pa)。
5.真空度高于1.33Pa以后,打開3號真空閥,使擴散泵內的真空度也達到1.33Pa以上。
6.擴散泵送電加熱,約40min以后,泵油加熱蒸發,這時封閉2號真空閥,然后再打開高真空閥。
7.真空度高于0.133Pa后封閉“熱電偶電源”,打開“電離計電源”,用電離計丈量真空度。
8.把電子電位差計的定針調到要求的溫度值,把“PID”調整到規定的比例帶和積分、微分時間(比例帶為40%～150%,積分時間為6～2.5min,微分時間為5～4min)
9.把電路電源“手動給定”旋鈕調到最小,開關打到“自動”位置,把“PID”調節器的“手動”調到最小,開關打到“手動”位置,并接通“PID”電源。
10.電爐送電,調整“PID”的“手動”,使三相電流表的輸出指示基本均衡在30～70A。
11.待爐溫接近給定值時,把“PID”的爐溫控制從“手動”打到“自動”以便進行自動控制。
12.保溫時間滿足要求后,如工藝要求隨爐冷卻,可封閉電爐電源。如工藝要求控制冷卻,即把“PID”由“自動”打到“手動”,靠“手動”調節冷卻。
13.350℃以上不準封閉水源和真空系統,封閉擴散泵時,必須首先封閉高真空閥,然后封閉3號真空閥,打開2號真空閥。
14.封閉機械泵時,先封閉2號真空閥,再封閉電源。
15.爐溫高于150℃時,不準放氣和打開爐蓋。
16.工作過程中一定要嚴格遵守上述安全技術操縱規程,不準脫離崗位,經常留意檢查水源、儀器、真空度、電機、變壓器、風扇、電表等運行是否正常,發現異常,及時報告處理。